真空镀膜机怎么关闭

问题描述

精选答案

真空镀膜机关闭

关机顺序

1. 关高真空表头、关分子泵。

2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3. 到50以下时，再关维持泵。

关电离计，关闭高阀，切断加热器电源，用前级泵抽前级自然降至室温，关前级管道阀，停止机械泵，停冷却水、停电、停气。