真空镀膜机如何调试

问题描述

精选答案

1、检查设备各操作控制开关是否在"关"位置。

2、打开总电源开关，真空镀膜设备送电。

3、低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

4、安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

5、落下钟罩。

6、启动真空镀膜设备抽真空机械泵。

7、开复合真空计电源。

（1）左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

（2）低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

8、当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

9、真空镀膜设备开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

10、低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀。