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真空度对真空镀膜的影响

数字技术工程师 | 简单学习,快乐成才!         
问题更新日期:2024-10-24 10:03:58

问题描述

真空度对真空镀膜的影响希望能解答下
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主要还是对镀膜工艺的影响,无论什么镀膜方式,真空度越高亦代表炉内所含的杂气原子越少,这样镀膜膜层成分就更趋近于你想要的比例,简单的说就是纯度及结晶状态更可控。

同时,对于镀膜来说,加热基本是必须的,较高的真空度可以防止基材表面氧化或氮化,对结合力有很大的帮助。