晶圆切割如何解决面崩

问题描述

精选答案

解决办法:在初期chipping应当详细检查刀片的安装精度问题，技术人员还应当做好休整刀片同心度以及重新进行预切割。循环chipping，要详细检查刀刃表面是否有废料的冲击痕迹，在肉眼无法观察的情况下，需要使用显微镜详细观察刀刃表面是否存在有颗粒物以及义务粘连；至于其他chipping，对此就需要增加贴膜后烘烤温度和时间，要根据工件的材质以此调整其适合的加工参数。