22纳米光刻机是世界上什么水平

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精选答案

属于中端水平。光刻机13.5nm以下是euv高端光刻机，14-42nm属于中端水平，42以上属于低端水平。一般中端光刻机28nm的比较常见，你说的22nm这个应该是指那种超分辨率365nm波长的光刻机，这种是等离子光刻技术，跟通常说的投影式光刻机不同，这种是直写式，效率非常低也无法刻复杂电路。