单晶硅为什么需要退火~

问题描述

精选答案

在450℃左右，硅中的氧会转化为氧施主，对电阻率的正确测量带来影响。使P型单晶硅电阻率升高，甚至反型；使N型单晶硅电阻率降低。

在700℃左右退火处理，可以使氧施主回到间隙氧状态，消除氧施主对电阻率测试的影响。