半导体薄膜设备的原理

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精选答案

半导体薄膜的原理是:在原本导电能力很弱的本征半导体中掺入微量的其他元素，使半导体的导电性能发生显著变化。这些微量元素被称为杂质，掺杂后的半导体称为杂质半导体。氧化铟锡（ITO）透明导电玻璃就是将锡元素掺入到氧化铟中，提高导电率，它的导电性能是最好的，最低电阻率达10-5Ωcm量级。