暗场扫描原理

问题描述

精选答案

暗场扫描的原理是利用与检测晶圆平面呈较大倾角的斜入射激光作为光源，通过收集检测光束接触晶圆表面后向多个方向反射得到的散射光信号来判断晶圆表面的某一位置上是否存在缺陷，再以这种方式扫描整个晶圆从而得到晶圆的缺陷分布图。

但使用该方法进行晶圆缺陷扫描时，检测光束在扫描过程中会照射到扫描区域边缘的非扫描区域，引入不必要的噪声，进而对晶圆缺陷检测结果的精准度造成影响。