sadp 工艺

问题描述

精选答案

自对准双重成像技术(Self-aligned Double Patterning , SADP)即，一次光刻完成后，相继使用非光刻工艺步骤(薄膜沉积、刻蚀等)实现对光刻图形的空间倍频。

最后，使用另外一次光刻和刻蚀把多余的图形去掉。