LED芯片用什么光刻机

问题描述

精选答案

用投影光刻机！

具体而言，根据用途不同，可以将光刻机分为三类：

一是主要用于生产芯片的光刻机；

二是用于封装的光刻机；

三是用于LED制造领域的投影光刻机。

目前尺寸在14纳米以下的LED光刻机基本上被荷兰的阿斯麦尔垄断。

14纳米以上的在中国日本南韩欧洲和美国均有生产。

其他回答

房子经济

按照用途可以将光刻机分为三种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。

投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光方法。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上，曝光系统通过一个狭缝式曝光带（slit）照射在掩模上。