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geant4如何给极板加电压或者说怎么加电场

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问题更新日期:2024-10-27 09:25:13

问题描述

geant4如何给极板加电压或者说怎么加电场急求答案,帮忙回答下
精选答案
最佳答案

主要是用RF射频电源给极板加高频交流电流,原理基本就是在真空压力下,加在电极板上的射频电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子。

当然还要加一些匹配器等其他的元器件了,具体的电路你要去看看RF电源的工作原理了。