光刻机里面有显微镜吗

问题描述

精选答案

没有显微镜，只有物镜镜头组。

光刻机里面没有显微镜，那叫物镜或镜头组。光刻机物镜是光刻机的核心光学元件，负责将电路图案放大投影到晶圆上。为了满足EUV光刻机的要求，镜头要经过超精密抛光，达到原子级别的的加工精度，挑战着超精密加工能力的极限。最新一代的EUV光刻机反射镜最大直径1.2米，面形精度峰谷值0.12纳米，表面粗糙度20皮米（=0.02纳米=0.2埃），也就是说达到了原子级别的平坦，这种程度的物镜远不是显微镜能相提并论的。