光伏切片流程
问题描述
- 精选答案
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具体的制造工艺技术说明如下:
(1)切片:采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片。
(2)清洗:用常规的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或碱)溶液将硅片表面切割损伤层除去30-50um。
(3)制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。
(4)磷扩散:采用涂布源(或液态源,或固态氮化磷片状源)进行扩散,制成pN+结,结深一般为0.3-0.5um。
(5)周边刻蚀:扩散时在硅片周边表面形成的扩散层,会使电池上下电极短路,用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。
(6)去除背面pN+结。常用湿法腐蚀或磨片法除去背面pN+结。
(7)制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极,然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。
(8)制作减反射膜:为了减少入反射损失,要在硅片表面上覆盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2,SiO2,Al2O3,SiO,Si3N4,TIO2,Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、pECVD法或喷涂法等。
(9)烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。
(10)测试分档:按规定参数规范,测试分类。
- 其他回答
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光伏切片流程一般包括以下步骤:
1.硅片清洗:将硅片洗净,去除表面的杂质和污垢。
2.光阻涂覆:在硅片表面涂覆一层光阻,以便进行后续的刻蚀工艺。
3.曝光:将光阻涂层暴露在紫外线下,使其在硅片表面形成图案。
4.刻蚀:用化学液体对硅片表面进行刻蚀,使得光阻涂层和硅片表面的非图案部分被去除。
5.清洗:用化学液体将硅片表面的残留物清洗干净。
6.烧结:将硅片放入高温炉中,进行烧结处理,使得硅片表面形成p-n结。
7.金属化:在硅片表面涂覆一层金属,以便进行电极连接。
8.切割:用切割机将硅片切割成小块,制成光伏电池。
- 其他回答
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一、硅片检测
二、表面制绒
三、扩散制结
四、去磷硅玻璃
五、等离子刻蚀
六、镀减反射膜
七、丝网印刷
八、快速烧结
九、外围设备
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