超净间分级标准

问题描述

精选答案

标准:美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

其他回答

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根据单位体积尘埃数的不同,超净间分为不同的等级,如表3.9所示。

以直径为0.5um的尘埃作为比较标准,在一立方英寸空间中大于0.5um的尘埃粒子数少于10粒,就称为10级洁净空间,大于0.5um的粒子数少于1000个,就称为1000级洁净空间。目前许多半导体生产线都要求洁净度为1级。表3.10列出了美国联邦标准209E中各净化间级别对空气漂浮颗粒的限制。