为什么湿法刻蚀比干法刻蚀快

问题描述

精选答案

湿法蚀刻速度快

湿法蚀刻的影响因素分别为：反应温度，溶液浓度，蚀刻时间和溶液的搅拌作用。根据化学反应原理，温度越高，反应物浓度越大，蚀刻速率越快，蚀刻时间越短，搅拌作用可以加速反应物和生成物的质量传输，相当于加快扩散速度，增加反应速度，所以湿法刻蚀速度快。