电子特气用于芯片哪个环节

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精选答案

电子特气，几乎用于整个芯片生产的全环节。例如，薄膜沉积、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等，都离不开电子特气。

电子特气，听起来高大上，其实也很普通。例如高纯氧，高纯氨，不同的是纯度更高。