半导体光刻机有几个厂家

问题描述

精选答案

一共有四个厂家。

全球能制造半导体光刻机的厂家目前有四个，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。其中荷兰阿斯麦尔是唯一能够制造euv极紫外光光源光刻机的厂家，日本尼康和佳能、中国上海微电子能够制造duv光刻机。其他光刻机厂商基本都是制造后道光刻机的，技术含量和用途完全不同。