pvd膜厚测量公式

问题描述

精选答案

业内有两种主流方法：

其一，是colatest，就是用一定直径的钢球，滚动摩擦被检测工件的表面，得到一组基材、涂层的同心圆，然后用显微镜测量尺寸，通过公式计算得出涂层厚度。这种方法为有损检测，但是比较准确

其二，采用x射线衍射的方法（xrf），测量涂层厚度。这种方法无损、快速，准确度也可以