为什么硅能用来检测光

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精选答案

硅在可见光探测领域是最理想的材料之一，也是紫外光电传感的常用材料。

然而，硅材料对紫外光的响应度较低，这是由于紫外光在硅材料中的透射深度极浅(波长370纳米以下，透射深度大于20纳米)，光生载流子主要集中在硅的表面，而传统硅基P-N或P-I-N结型光电探测器件的结深一般大于200nm，载流子复合效应导致光学响应随入射光波长的减小而迅速降低。

超浅P-N或P-I-N结(深度大于20纳米)的制备相当困难，传统方法是采用离子注入和精确控制热扩散工艺来制备浅结，但是在硅表面附近易形成P+N结，高掺杂的P+区域会增加载流子的表面复合，降低光电传感器的响应度。一些新开发的浅结技术(比如δ-掺杂技术或激光掺杂技术)制备工艺相当复杂，导致硅基光电传感器价格变得昂贵。