电子级硅的纯度是多少

问题描述

精选答案

电子级硅的纯度为99.9999％

电子级硅（EG）：一般要求含Si > 99.9999 %以上，超高纯达到99.9999999%～99.999999999%（9～11个9）。其导电性介于 10-4 – 1010 欧厘米。电子级高纯多晶硅以9N以上为宜。

制造硅芯片所需的纯硅中，每十亿个硅原子中只能有一个外来原子。它也必须是单晶形式。原子以这种硅形式组织的方式对于某些后续过程至关重要。