碳化硅半导体材料

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碳化硅是一种半导体材料，碳化硅（SiC）由碳（C）原子和硅（Si）原子组成，密度是3.2g/cm3，天然碳化硅非常罕见，主要通过人工合成。其晶体结构具有同质多型体的特点，在半导体领域最常见的是具有立方闪锌矿结构的3C-SiC和六方纤锌矿结构的4H-SiC和6H-SiC。碳化硅是目前发展最成熟的第三代半导体材料。