分子泵前级压力要求

问题描述

精选答案

你应该看的是罗茨泵或分子泵，这种泵不能直接从大气压抽真空，必须有一个前几泵，也就是在这两种泵前面再装一个真空度比较低的真空泵，先对真空室进行抽气，达到罗茨泵或分子泵的启动压力后才能启动。

前级压力说的是前级泵的入口压力和主泵(高真空度)的出口压力。前级泵和主泵在实际使用时是串联使用的。