mocvd通什么气体

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精选答案

MOCVD中的载气又称运载气体,其作用是将参与外延的源材料快速输运到反应室,对载气的基本要求是纯度高、成本低,且不参与外延过程中的化学反应。

常用于MOCVD的载气有H2和惰性气体N2和Ar等。相对于N2来说,H2作为载气在MOCVD中的应用更为广泛,其主要原因是比更容易纯化。