90纳米光刻机用什么光

问题描述

精选答案

深紫外光光源。

90纳米光刻机使用的是深紫外光光源。紫外光光线在200纳米根据颜色叫做深紫外光，而通常duv光刻机就是使用该种类型紫外光，通常是193纳米的深紫外光。再通过镜头组使其压缩到90纳米精度，基本上是激光激发汞灯而形成的。

利用光刻机发出的紫外光源通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的硅片曝光，使光刻胶性质变化、达到图形刻印在硅片上形成电子线路图。我国目前还是采用什深紫外光的193nm制程工艺，如上海微电子装备公司（CMEE）制程90nm工艺的光刻机。