naeuv光刻机介绍

问题描述

精选答案

介绍如下：na本身指的是孔径数值，naeuv指的是荷兰阿斯麦尔公司正在研制的全新一代hight na euv光刻机，孔径数值为0.55，主要用于制造2nm、1.8nm等工艺制程的芯片。

该型光刻机预计2024年年底交付测试，售价可能高达3亿美元，估计这应该是euv最后一个na的光刻机。