加偏压为啥可以改变薄膜内部结构

问题描述

精选答案

主要特点

1.高频单极性脉冲偏压施压在工件上，相比直流偏压而言，由于存在电压中断间隙，能有效减少打火次数，保护工件表面。

2.脉冲间隙期间，工件表面积累的电荷可以被中和，从而减少了表面电荷积累引起的打火。

3.高频逆变技术中的快速关断能力，能有效减少每次打火释放的能量，即使在打火出现时，也能明显降低工件表面大损伤程度。

4.脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量很低。

5.可以通过调节频率、占空比要改善和控制成膜速度和质量。