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晶体管漏电的原因

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问题更新日期:2024-10-30 10:05:13

问题描述

晶体管漏电的原因,麻烦给回复
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究其原因,是因为集成电路每一代制造工艺的进步,都是以缩短CMOS晶体管的沟道长度为目标,7nm工艺指的就是指沟道长度。

沟道长度不断缩短,使得电源电压、阈值电压、栅极氧化层厚度等工艺参数也在不断地按比例缩小,直接导致短沟道效应(SCE)、栅极隧穿电流、结反偏隧穿电流等漏电流机制越来越显著,表现为芯片漏电流功耗不断上升。