mems晶圆是做什么的

问题描述

精选答案

用于各种产品的超小型化，例如投影仪的数字微显示器（DMD），喷墨打印机喷头内的喷嘴以及陀螺仪，压力传感器，加速度传感器和流量传感器等各种传感器。它们还用于医疗设备的血液测试芯片和导管中。