什么是微波等离子体激发源

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精选答案

微波诱导微放电源是基于“微波带”技术在大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。

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考研酱

微波等离子体激发源是一项最近几年发展起来的集成电子技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术。它是随着MEMS技术的发展专而发展起来的。将微波等离子属体结合MEMS工艺可使用微等离子体的结构和特性发生巨大的改变。