飞秒激光加工相比于光刻的优势

问题描述

精选答案

飞秒激光加工技术是一种能够实现无热影响区的精密的激光加工技术。飞秒激光加工具有下列优点：

①对加工区周围的热影响小；②可加工其它激光难以加工的材料，如透明材料、高熔点材料、热分解器和热变形材料等③可利用聚焦光束进行控制深度方向的内部加工但在飞秒加工中，当脉冲能量密度过大时，会使后始材料熔化、出现微裂纹并对周边产生较大的热景