共聚焦，显微镜，有什么优点

问题描述

精选答案

1、高分辨率观察的显微镜，常规显微镜的分辨率0.35微米是极限，激光共聚焦显微镜的分辨率为0.1-0.2微米，所以在亚微米级观察上可以代替电子显微镜（无法做元素分析）。

2、高精度表面形态测量，检测细微表面的高度差异，线宽测量、体积、表面积，异物，杂质等的大小，表面粗糙度分析。

3、三维形貌显微镜。