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谁知道万级无尘室等级标准是怎样的

数字技术工程师 | 简单学习,快乐成才!         
问题更新日期:2024-11-01 02:53:51

问题描述

谁知道万级无尘室等级标准是怎样的求高手给解答
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世界各国均有自定规格,但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【FederalStandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。