什么是自掺杂

问题描述

精选答案

1.自掺杂是说由于热蒸发或者化学反应的副产物对衬底的腐蚀，使衬底中的硅和杂质进入气相，改变了气相中的掺杂成分和浓度，从而导致了外延层中的杂质实际分布偏离理想情况，这种现象称为自掺杂效应。

2.外掺杂杂质不是来源于衬底，由人为控制的掺杂方式。

3.抑制自掺杂途径有：外延、离子注入、热扩散。