hvpe工艺

问题描述

精选答案

HVPE是氢化物气相外延技术。

外延是在特定条件下，使某物质的原子或分子有规则排列，定向生长在衬底的表面上。得到连续，完整的并与衬底晶格结构有对应关系的单晶层，称为外延层，而此过程称为外延生长。

如果衬底和外延层属于同一种材料则称为同质外延，如硅上外延生长硅。如果衬底材料和外延层是不同种材料，则称为异质外延。