半导体rtp是什么工艺

问题描述

精选答案

是快速热处理

RTP，即快速热处理，是一种升温速度非常快保温时间很短的热处理方式。RTP 快速热处理（rapid thermal processing)，是一种升温速度非常快的，保温时间很短的热处理方式。升温速率能达到10~100摄氏度每秒。