合成晶片有哪些污染
问题更新日期:2024-11-03 06:22:39
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合成晶片有哪些污染,在线求解答
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社会上传说光伏产业高污染,主要是指多晶硅的生产。是的,从硅料到晶片的生产过程,本质上是属于化工生产工程。物质在化学反应过程中,必然会产生出一些新物质,其中有些新物质是属于有毒物质。这些有毒物质,如果不回收,自然会成为污染物,危害环境。如多晶硅生产过程中产生的大量副产物—四氯化硅。
多晶硅生产工艺有三氯氢硅氢化合成、三氯氢硅提纯、还原多晶硅、尾气分离与回收等四道工序。目前世界上80%的多晶硅生产采用改良西门子法工艺,此工艺历经五十多年的发展,在节能、环保、低成本生产方面取得长足进步,并针对太阳能行业用料的特殊需求,开发出硅烷法等生产成本更低、质量适合太阳能产品要求的多晶硅生产新工艺。
我国多晶硅的生产技术上有三道关键设备和技术是从德国、美国、日本引进的,而生产线上有四道工序共计有17项核心技术(均有自主知识专利)投入应用。尤其是核心的物料回收,关键工艺是自主研发的氯氢化技术(已经申报了中国专利),目前已经取得显著效果。现在已经做到生产多晶硅产生的大量副产物—四氯化硅,可以全部转化为生产多晶硅的中间原料—三氯氢硅。
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