紫外光刻技术

问题描述

精选答案

即采用光源波长在极紫外波段范围的光刻技术。在空气环境中，光刻技术最具标志性的技术指标分辨率 R=k1*λ*NA，真空中n=1。由此可见，提高分辨率有三种途径，即减小工艺因子k1、减小波长λ、增大数值孔径 NA。根据焦深公式DOF=k2*λ/（NA)2可知，增大数值孔径虽然可以提高分辦率，但也会降低焦深，影响成像效果，因此发展光刻技术最有效的手段为缩短光源波长。

其他回答

互联财审计

常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。