弧源是什么

问题描述

精选答案

弧源即弧放电离子源，它是在均匀磁场中，由阴极热发射电子维持气体放电的离子源。为了减少气耗，放电区域往往是封闭的。阳极做成筒形，轴线和磁场方向平行。磁场能很好地约束阴极所发射的电子流，在阳极腔中使气体的原子(或分子)电离，形成等离子体密度很高的弧柱。

离子束可以垂直于轴线方向的侧向引出，也可以顺着轴线方向引出。

其他回答

自考成考的胡老师

弧源是一种多离子束材料表面改性技术。