光阻、光阻剂、光刻胶是同一个意思吗

问题描述

精选答案

光刻胶（英语：photoresist），亦称为光阻或光阻剂，是指通过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。

其他回答

现货学习网

触摸屏厂中光阻、光阻剂、光刻胶是同一个意思吗？有没相关光阻的材料可以参考？