薄膜制备方法

问题描述

精选答案

制备的方法很多，比如说：

（1）蒸镀法。

主要由磁控溅射、分子束外延等方法；

（2）旋涂法，就是将溶胶等通过旋涂的方法制备薄膜；

（3）化学法。比如采用表面氧化的方法可以制备氧化物薄膜等。