Inlens模式是什么意思

问题描述

精选答案

SE1和SE2指的是不同的信号，不同的探测器，换句话说就是用不同的探测器接收不同的信号。

SE1是内置在镜筒的二次电子探头，有的型号蔡司电镜这个探头也叫Inlens，只接收SE1（入射电子束直接激发的二次电子，产生范围较小）。

SE2在场发射电镜中样品室内的样品台侧边二次电子探头，接收SE2（入射到样品中的电子激发出的二次电子，产生范围较大）。

因为SE1产生范围小，可以在小工作距离下工作，SE2产生范围大，需要一定的工作距离，因此SE1分辨率相对高一点