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加工半导体零件需要多少级洁净室

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问题更新日期:2024-11-04 19:29:47

问题描述

加工半导体零件需要多少级洁净室求高手给解答
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半导体加工的话涉及的洁净度等级主要有10级,百级,千级,一般在前端晶圆物理处理是千级就可以,涉及研磨,蚀刻时需要百级,长晶需要十级