光刻机有多少个零部件

问题描述

精选答案

一台高端的光刻机由上万个零部件构成，光刻机的主要核心部件主要分为两个部分：分别是对准系统和紫外光源。

目前对准系统主要有两大难题，精密的机械工艺和对准显微镜系统。精密的机械工艺目前只有美国、德国少数国家有这方面的专利，而对准显微镜系统其实就是镜片，在这方面我国一直处于落后的状态。

关于紫外光源，光刻机对光源的要求十分高，一是要有适当的波长，

二是光要有足够的能量，

三是光能量且必须要均匀的分布在曝光区。

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光刻机有三大核心部件，EUV光源、双工件台、光学镜头。EUV光刻机零部件高达十万个，涉及面广。

28纳米以下制程的EUV光刻机至少需要3至10的攻关突破。衡量指标就是数值孔径（NA），一般透镜数值孔径越大，收光能力越大、分辨率越高。因为EUV的镜头与上一代DUV光学系统完全不同，所以数值孔径大大降低。