pvd溅射工艺工作原理

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精选答案

物理气相沉积（PVD）是通过蒸发，电离或溅射等，产生气态粒子并在工件表面形成化合物沉积层的一种工艺。该项技术目前已广泛应用于镀膜行业。

真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜是三种典型的PVD镀膜技术，其中，离子镀应用最广。对应于上述三类PVD技术，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。