kmate射频电源怎么设置
问题更新日期：2024-11-06 14:23:50
问题描述
kmate射频电源怎么设置急求答案，帮忙回答下
- 精选答案
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kmate射频电源设置方法：
检查射频电源是否输出正常，入射功率和反射功率比较。如果入射正常，反射很大，检查匹配器。
如果入射功率不能达到设定功率，过小，检查射频电源是否烧毁。
若射频电源和匹配都工作，将气体流量加大，中和器打开，再测
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