ldi曝光机工艺流程

问题描述

精选答案

LDI曝光机工艺流程主要包括以下几步：

首先，将待加工的基板放入曝光机中，然后通过涂布光敏剂，将光敏剂均匀涂布在基板表面；

接着，将基板放入曝光机中进行曝光处理，通过光阻膜的图形使光敏剂发生化学反应；

然后，通过显影处理，将未曝光部分的光敏剂溶解掉，形成光阻图案；

最后，通过烘干和固化处理，使光阻固化并形成所需结构。