mems起源于什么时期

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精选答案

MEMS技术的起源可以追溯到20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。

1978年，美国IBM的Bassous等人报道了硅微喷嘴，它是MEMS微结构的起点。

其他回答

小范老师说学历

MEMS 起源可追溯至 20 世纪 50 年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究。然而，MEMS 产业真正发展始于 20 世纪 80 年代，前后经历了 3 次产业化浪潮