什么是euv光刻机

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精选答案

EUV光刻机是一种用于芯片制造的刻画技术，全称为极紫外光刻，即采用波长为13.5纳米的极紫外光（EUV）进行曝光。

相比于传统的深紫外光刻技术，EUV光刻机使用波长更短、能量更高的极紫外光刻画芯片图形，能够实现更高密度的芯片设计，同时还可以大幅度减少芯片成本和功耗。

EUV光刻机的核心是光源，通常使用锗（Ge）和锡（Sn）等元素产生能量最高、波长最短的光线，用于照射芯片上的光刻胶，形成图形。在当前的半导体生产中，EUV光刻机已经成为了必不可少的芯片制造工具。

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EUV是指紫外光的意思。

极紫外线光刻机是芯片生产工具，是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆，只能用EUV光刻机生产。

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EUV极紫外光刻（Extreme Ultra-Violet）是一种使用极紫外（EUV）波长的新一代光刻技术，其波长为13.5纳米。由于光刻精度是几纳米，EUV对光的集中度要求极高，相当于拿个手电照到月球光斑不超过一枚硬币。反射的镜子要求长30cm起伏不到0.3nm，相当于北京到上海的铁轨起伏不超过1毫米。一台EUV光刻机重达180吨，超过10万个零件，需要40个集装箱运输，安装调试要超过一年时间。