半导体工艺为什么要加dummy

问题描述

精选答案

1、保证可制造性，防止芯片在制造过程中由于曝光过渡或不足而导致的蚀刻失败。

2、避免由于光刻过程中光的反射与衍射而影响到关键元器件物理图形的精度，进又而影响其size。

3、避免芯片中的noise对关键信号的影响，在关键信号的周围加上dummy routing layer后者dummy元器件。