激光干涉仪z轴如何快速对光

问题描述

精选答案

z轴激光光路快速准直方法：

用激光干涉仪进行线性测量时，z轴测量时激光光路的准直相对x、y轴准直来说，要困难的多。尤其是在z轴距离较长的情况下，要保证激光光束经反射镜反射后回到激先探测器的强度满足测量对对光强的要求，准直激光光路往往需要很长时间。